真空气氛管式炉

真空气氛管式炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺，也可以用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺


设备型号    RGL(D)-07/75/3    RGL(S)-09/60/6    RGL(D)-18/110/3
较高温度    1050℃                1050℃            1050℃
使用温度    RT-1000℃             RT-1000℃         RT-1000℃
控制精度    ±1.5℃               ±1.5℃           ±1.5℃
温区个数     3个                   6个               3个
加热区长度   750mm                 600mm              1100mm
炉管尺寸    φ70x2200mm           φ90x1800mm        φ180x2100mm
炉管材料    石英管                 石英管             石英管
发热元件     进口电阻丝            进口电阻丝          进口电阻丝