CVD系列真空气氛管式炉

CVD系列真空气氛管式炉应用领域：

CVD系列真空气氛管式炉广泛应用与高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等，也可以适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护气氛下热处理

CVD系列真空气氛管式炉的主要特点：
CVD系列真空气氛管式炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛，可拆卸式三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度
CVD系列真空气氛管式炉的耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低
CVD系列真空气氛管式炉的加热元件采用U型硅钼棒或原装进口电阻丝
CVD系列真空气氛管式炉的温度控制系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性


CVD系列真空气氛管式炉的技术指标：
设备型号	CVD(D)-06/60/3	CVD(Z)-06/30/1	CVD(G)-07/50/2	CVD(G)-09/50/1
较高温度	1050℃	1350℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用温度	RT-1000℃	850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控温精度	±1.5℃	        ±1.5℃	        ±1.5℃	        ±1.5℃
温区个数	3	        1	         2	        1
加热区长度	600mm	        300mm	         500mm	        500mm
炉管材料	石英管	        刚玉管	         刚玉管	        刚玉管
炉管尺寸	60x1400mm	60x1000mm	70x1450mm	90x1450mm
发热元件	进口电阻丝	电阻丝/硅碳棒	硅钼棒、电阻丝	硅钼棒
较大装机功率	4.5KW	        3KW/8KW	        8KW	        10KW