RGL系列气氛管式炉应用领域: RGL系列气氛管式炉主要应用与半导体材料的扩散、氧化工艺;也可以应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺 RGL系列气氛管式炉的技术指标: 设备型号 RGL(D)-07/75/3 RGL(S)-09/90/3 RGL(D)-18/110/3 RGL(S)-25/100/6 较高温度 1050℃ 1050℃ 1050℃ 1300℃ 使用温度 RT-1000℃ RT-1000℃ RT-1000℃ RT-1000℃ 控温精度 ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ 温区个数 3 3 3 6 加热区长度 750mm 600mm 1100mm 1000mm 炉管材料 耐热钢管/石英管 石英管 石英管 碳化硅管 炉管尺寸 70x2200mm 90x1800mm 180x2100mm 250x2100mm 发热元件 进口电阻丝 进口电阻丝 进口电阻丝 硅碳棒 较大装机功率 8KW 15KW 20KW 60KW